SEMICON China 2024丨苏磁携磁悬浮产品全“芯”亮相

磁悬浮技术，让世界更洁净、更美好

2024年3月20日至22日，SEMICON China 2024将在上海新国际博览中心举行。本次展会展出面积达90,000平方米，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链的半导体专业展会。作为全球规模最大、最具影响力的半导体工业综合展览盛会，SEMICON将继续发挥行业风向标作用，打造半导体产业最高水平的发展合作阵地。

本次SEMICON China，苏磁科技将展示包括磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮搅拌系统、磁悬浮涡轮分子泵在内的高端技术装备。苏磁科技诚邀您莅临展位（N1馆N1575号）参观交流，了解磁悬浮技术在半导体领域的应用和探索。

Supermag 高洁净、高可靠的磁悬浮技术

磁悬浮晶圆转台

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒，可应用于氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

磁悬浮泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。

磁悬浮搅拌系统

苏磁科技自主研发的磁悬浮搅拌系统，为高端药物混匀的生物相容性要求而设计。磁悬浮桨叶完全避免了机械摩擦异物生成，几乎完全消除了剪切应力，既可以温和、洁净地长期运行，也可以快速实现多相介质的混合，对于高粘度液体，可精确操控磁悬浮桨叶的运动，实现优良的工艺效果。

磁悬浮涡轮分子泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

关于苏磁科技

苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品，为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌、及磁悬浮高真空解决方案。苏磁科技磁悬浮产品在半导体领域，满足高端芯片制造的苛刻工艺要求；在生物制药领域，保障了药液在输送和搅拌中免受破坏；在化工领域，完全避免了动密封引起的泄漏风险；在高端能源装备领域，具有明显的节能效果和极高的可靠性。